<pre id="vfjvf"><listing id="vfjvf"></listing></pre>

                  13311665350

                  產品中心

                  PRODUCTS CNTER

                  當前位置:首頁產品中心管式爐系列CVD/PECVD系統化學氣相沉積爐(CVD系統)

                  化學氣相沉積爐(CVD系統)

                  產品簡介

                  這款CVD系統集真空管式爐,多通道氣路系統和真空系統組成,可根據用戶需要設計生產(有雙溫區、三溫區、多溫區),可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統有質子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。

                  產品型號:
                  更新時間:2023-10-30
                  廠商性質:生產廠家
                  訪問量:11468
                  詳細介紹在線留言

                   一、產品應用

                    高真空CVD系統是一款專業在沉底材料上生長高質量石墨烯、碳納米管、碳化硅的設備,廣泛應用于在半導體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域。 

                  CVD系統

                  CVD系統

                   

                  二、產品特點

                    高真空CVD系統主要由高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統、分子泵機組、自動化控制系統、冷卻系統等組成。

                  1、沉底材料可采用銅箔、石墨等;

                  2、生長腔體采用進口高純石英管,配石英支架、為石墨烯等材料的生長提供潔凈環境;

                  3、爐膛采用進口高純氧化鋁多晶體纖維,不易掉粉、壽命長且保溫性能好。加熱絲采用優質摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲,溫場均勻,能耗低;

                  4、密封法蘭均采用不銹鋼材質,配水冷套,可連續長時間工作;

                  5、氣路系統采用兩路質量流量計(可拓展多路),配預混系統;

                  6、氣體種類: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;

                  7、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制,通過PC實時控制和顯示相關的實驗參數,自動保存實驗參數,也可采用手動控制; 

                  8、系統采用集成化設計,控制系統、混氣罐、質量流量計等均內置在箱體內部,占地面積小。整體安裝四個可移動輪子,方便整體移動。

                  三、技術參數 

                   

                  型號

                   

                   

                  HTF1200-2.5/20-2F-LV

                   

                  HTF1200-5/20-4F-HV

                   

                  HTF1200-6/40-2M-LV 

                   

                   

                  HTF1200-8/40-4M-HV 

                   

                   

                  設計溫度(℃)

                   

                  1200 

                   

                   

                  1200 

                   

                   

                  1200 

                   

                   

                  1200 

                   

                   

                  控溫精度(℃)

                   

                  ±1 

                   

                   

                  ±1  

                   

                   

                  ±1  

                   

                   ±1 

                   

                   加熱區直徑(mm)

                   

                  25 

                   

                   

                  50 

                   

                   

                  60 

                   

                   

                  80 

                   

                   

                   加熱區長度(mm)

                   

                  200 

                   

                   

                  200 

                   

                   

                  400 

                   

                   

                  400 

                   

                   

                   加熱管長度(mm)

                   

                  450 

                   

                   

                  450 

                   

                   

                  1000 

                   

                   

                  1000 

                   

                   

                   恒溫區長度(mm)

                   

                  80 

                   

                   

                  80 

                   

                   

                  150 

                   

                   

                  150 

                   

                   

                  額定電壓(V)

                   

                  220 

                   

                   

                  220 

                   

                   

                  220 

                   

                   

                  220 

                   

                   

                  額定功率(KVA)

                   

                  1.2 

                   

                   

                  1.2 

                   

                   

                   

                   

                   

                   

                  真空機組

                   

                  HTF-101 

                   

                   

                  HTF-103 

                   

                   

                  HTF-101 

                   

                   

                  HTF-103 

                   

                   

                  供氣系統

                   

                  HTF-2F 

                   

                   

                  HTF-4F 

                   

                   

                  HTF-2M 

                   

                   

                  HTF-4M 

                   

                  在線留言

                  留言框

                  • 產品:

                  • 您的單位:

                  • 您的姓名:

                  • 聯系電話:

                  • 常用郵箱:

                  • 省份:

                  • 詳細地址:

                  • 補充說明:

                  • 驗證碼:

                    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7

                  關注微信號

                  移動端瀏覽
                  熱線電話:13311665350

                  Copyright © 2023上海皓越真空設備有限公司 All Rights Reserved    備案號:滬ICP備2022033023號-1

                  技術支持:化工儀器網    管理登錄    sitemap.xml    總訪問量:537438

                  永久免费观看不收费的软件5,丰满的人妻HD高清日本,办公室风雨未删减,中文字日产幕码三区的做法步 天天澡天天狠天干天啪啪 最近高清中文字幕在线国语5 日韩人妻精品一区二区三区视频 GAY18无套润滑剂男男 亚洲日本VA中文字幕久久 美女作愛全过程免费 精品国产免费一区二区三区 国产精品乱码一区二三区
                  掃一掃訪問手機站掃一掃訪問手機站
                  訪問手機站